MEMS光纤声压传感器技术 科学出版社 下载 pdf 电子版 epub 免费 txt 2025

本书首先介绍MEMS光纤声压传感器的结构特征、发展历程和应用前景；其次根据MEMS光纤声压传感器的工作原理，分别从光学和力学两个角度进行详细的介绍与分析；然后从制作角度介绍传感器的膜片加工和结构封装；最后对传感器的性能进行详细的测试。

本书可供光纤传感领域科研人员和工程技术人员参考，也可作为高等院校相关专业高年级本科生和研究生的参考书。

前言

1 绪论

1.1 MEMS光纤声压传感技术简介

1.2 MEMS光纤声压传感器领域现存主要问题

1.3 本书主要内容

2 MEMS光纤声压传感器光学原理分析

2.1 F-P干涉仪基本原理

2.1.1 标准F-P腔的干涉谱分析

2.1.2 光纤F-P腔的干涉谱分析

2.2 光束传输损耗模型分析

2.2.1 间隔损耗理论分析

2.2.2 倾斜、错位损耗理论分析

2.2.3 传输损耗对干涉条纹的影响

2.3 MEMS光纤声压传感器解调技术

2.3.1 强度解调

2.3.2 相位解调

2.4 本章小结

3 MEMS光纤声压传感器力学原理分析

3.1 膜片振动性能分析

3.1.1 自由振动的解

3.1.2 受迫振动的解

3.1.3 特殊情形的解

3.2 MEMS光纤声压传感器的等效电路模型

3.2.1 电-力-声线路类比

3.2.2 声学元件阻抗表达式

3.3 MEMS光纤声压传感器的声学性能仿真

3.3.1 膜片半径对传感器性能的影响

3.3.2 膜片厚度对传感器性能的影响

3.3.3 腔体体积对传感器性能的影响

3.3.4 膜片内应力对传感器性能的影响

3.3.5 连通孔尺寸对传感器性能的影响

3.3.6 空气腔对水听器的增敏作用研究

3.3.7 常见膜片材料对传感器性能的影响

3.4 本章小结

4 MEMS光纤声压传感器膜片加工技术

4.1 声压敏感膜片材料研究现状

4.1.1 硅基材料

4.1.2 金属材料

4.1.3 二维材料

4.1.4 材料

4.2 声压敏感膜片结构研究现状

4.2.1 凸台结构

4.2.2 纹膜结构

4.3 声压敏感膜片加工技术研究

4.3.1 金属平膜膜片加工

4.3.2 金属纹膜膜片加工

4.3.3 PET纹膜膜片加工

4.4 本章小结

5 MEMS光纤声压传感器结构设计与加工

5.1 F-P腔结构研究现状

5.1.1 同轴型结构

5.1.2 垂直轴型结构

5.2 MEMS光纤麦克风结构设计与加工

5.2.1 同轴型MEMS光纤麦克风结构设计与加工

5.2.2 垂直轴型MEMS光纤麦克风结构设计与加工

5.2.3 长腔长型MEMS光纤麦克风结构设计与加工

5.3 MEMS光纤水听器结构设计与加工

5.3.1 MEMS光纤水听器研究现状

5.3.2 MEMS光纤水听器结构设计及加工步骤

5.3.3 MEMS光纤水听器加工结果

5.4 本章小结

6 MEMS光纤声压传感器性能测试

6.1 声学实验测试原理、系统及方法简介

6.1.1 光纤声压传感器信号解调系统

6.1.2 声学实验测试装置

6.1.3 光纤声压传感器测量参数简介

6.2 MEMS光纤麦克风声学性能测试

6.2.1 同轴型平膜MEMS光纤麦克风声学性能测试结果

6.2.2 同轴型纹膜MEMS光纤麦克风声学性能测试结果

6.2.3 长腔长型MEMS光纤麦克风声学性能测试结果

6.2.4 垂直轴型MEMS光纤麦克风声学性能测试结果

6.3 MEMS光纤水听器声学性能测试

6.3.1 水腔PET平膜MEMS光纤水听器声学性能测试结果

6.3.2 空气腔PET平膜MEMS光纤水听器声学性能测试结果

6.3.3 PET纹膜MEMS光纤水听器声学性能测试结果

6.3.4 银膜片MEMS光纤水听器声学性能测试结果

6.4 本章小结

7 总结

参考文献

索引

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• 作者：竹 发布时间：2010-06-06 23:16:06

  讲述了美国成立发展以及壮大的历史，以密西西比河为中心，全面解读了美国

• 作者：汪达尔人Olaf 发布时间：2016-07-12 16:07:03

  http://weibo.com/1692188381/DEqmRnsaX?type=comment#_rnd1468310530883 更奇葩的是，作者因为黑莆田系而被刑拘

• 作者：Lau 发布时间：2023-03-04 17:25:38

  1⃣️北京故事，杨爷再是四城外的，也是九城里的，哪儿有“啥、咋”的呢～

• 作者：財涩不能炫 发布时间：2021-01-12 20:39:42

  帮助很大，对一个初学者来说。

• 作者：Brill8023 发布时间：2023-02-26 17:47:36

  202325 這是一本溥儀的自傳，讀下來並沒有想象中的視野那麼開闊，可能這就是溥儀最悲哀的地方，自小他就嚮往自由的天空、自由的空氣，而宮廷生活、一次次的復辟願望、投靠日本以後的一次次陷落，讓他一直都局限在一個很小的“局”裡面。當解放之日俘虜以後，他的腦中只想到“快死了”，人民會怎麼審判他，或者不審判就直接處死了，依然困在了一個“局”裡面。恐怕，只有在最後特赦的那一刻，溥儀心裡的壓力才真正全部的釋放，這也就是他最後的感慨，做了一個“真正的人”。

• 作者：且吟且行且唱 发布时间：2012-05-19 22:34:12

  尼玛难死了……

• 千万别读中译版，强调

  作者：readme 发布时间：2013-01-10 23:14:13

  原著是很好的书，但翻译基本是见过的垃圾中的垃圾，很多处让人费解、误解、甚至完全错误地理解。译者基本是找几个学生每人分一章译出来的，连审都没审，而且错误一版再版。 典型的笑话翻译“round-robin”翻译成“周围的知更鸟”。 本来N年前看过就觉得很差，现在还是忍不住告诉读者不要买这本中译版，看原著吧，原著的英文写的很通俗易懂，读起来也很快的。

• 再读鲁迅

  作者：爱书豆 发布时间：2023-02-16 13:12:45